Açıklama
Teknik parametreler
Ürüne Genel Bakış
Yarı İletken Sınıfında Grafit, gelişmiş yarı iletken üretim uygulamaları için özel olarak işlenmiş, ultra-yüksek-saflıkta, mühendislik ürünü bir malzemedir. Yüksek sıcaklıktaki termal alanların zorlu taleplerini karşılamak üzere tasarlanan-kimyasal kirlenmeye karşı olağanüstü direnç, üstün termal kararlılık ve hassas boyutsal doğruluk sunar.
Temel Özellikler
Kül içeriği kesinlikle korunur<5 PPM to prevent chemical contamination, verified by independent third-party ICP-MS batch testing.
Eşit yoğunluk, izotropik özellikler ve yapısal zayıf noktaların ortadan kaldırılması için gelişmiş soğuk izostatik presleme (CIP) yoluyla üretilmiştir.
Hızlı sıcaklık döngüleri sırasında stres çatlamasını ve deformasyonu önlemek için düşük bir termal genleşme katsayısına (CTE) sahiptir.
Vakum veya inert gaz atmosferlerinde 2.000 dereceye kadar (ve belirli inert koşullar altında daha yüksek) sıcaklıklarda yapısal bütünlüğü ve yüksek mekanik mukavemeti korur.
Kesintisiz yarı iletken reaktör entegrasyonu için ±0,005 mm'ye kadar dar boyut toleransları için şirket içinde özel-işlenmiş-.
Çekirdek hazırlama süreci
| Süreç Adımları | İngilizce Adı | Temel İşlev |
|---|---|---|
| Hammadde hazırlama | Hammadde Hazırlama | Eşit karışım sağlamak için yüksek-saflıkta grafit tozunu bağlayıcıyla karıştırın |
| İzostatik presleme kalıplama Yüksek | İzostatik Presleme | İzotropik yeşil boşluklar elde etmek için karışımı yüksek basınç altında oluşturun |
| sıcaklık arıtma | Yüksek-sıcaklıkta Arıtma | 2800-3000 derecede yabancı maddeleri ortadan kaldırın ve karbon saflığını %99,99'un üzerine çıkarın |
| Hassas işleme | Hassas İşleme | Karmaşık akış kanallarına ve yüksek hassasiyetli boyutlara sahip bileşenler üretmek için 5-eksenli CNC işleme merkezlerinden yararlanın |
| Ultra-temiz tedavi | Ultra-Temiz İşleme | Yarı iletken-sınıf temizlik gereksinimlerini karşılamak için ultrasonik temizleme ve vakumlu paketleme gerçekleştirin |
Ana ürün türleri
| Ürün Tipi | İngilizce Adı | Tipik Uygulamalar |
|---|---|---|
| Grafit taban / tepsi | Grafit Tutucu / Tepsi | Gofret imalatı (CVD, PVD, Dağlama işlemleri) |
| Grafit pota | Grafit Pota | Monokristalin silikon, polikristalin silikon ve silikon karbür (SiC) kristal büyümesi |
| Grafit ısıtıcı | Grafit Isıtıcı | Yüksek-sıcaklık proses ekipmanları (CVD, tavlama fırınları, RTP sistemleri) |
| Grafit sıcaklık dengeleyici plaka | Grafit Sıcaklık Üniforma Plakası | Gofret üretimi, LED epitaksiyel gofret büyümesi |
| Grafit yalıtım parçası | Grafit Yalıtım Parçaları | Vakum fırınlarının ve tek kristal fırınların termal alan sistemleri |
Katma Değerli-Mühendislik Hizmetleri
Özel CNC İşleme:Müşteri tasarımlarına göre karmaşık geometriler üretmeye yönelik çok-eksenli CNC yetenekleri.
Yüzey İşlem Seçenekleri:Reaktif ortamlarda oksidasyon ve kimyasal direnci daha da artırmak için talep üzerine isteğe bağlı CVD SiC kaplama hizmetleri mevcuttur.
Mühendislik Danışmanlığı:Kalite seçimi ve termal alan optimizasyonuna yardımcı olmak için malzeme uzmanlarından teknik destek.
Özelleştirme ve Üretim İş Akışı
Danışma ve Tasarım İncelemesi:Mühendislerimiz işlenebilirliği ve termal alan performansını optimize etmek için CAD çizimlerinizi (STEP, IGES, DXF) inceler.
Soğuk İzostatik Presleme (CIP):İç gerilimleri ortadan kaldırmak ve izotropik yapısal güvenilirliği sağlamak için düzgün bloklar oluşturmak.
Yüksek-Sıcaklıkta Arıtma:Eser miktardaki metal safsızlıklarını 5 PPM'nin altına indirmek için vakumlu grafitleştirme ve termal saflaştırma.
Çok-Eksenli CNC İşleme:±0,005 mm'ye kadar sıkı toleranslar elde etmek için hassas şekillendirme.
İsteğe bağlı CVD SiC Kaplama:Geçirimsiz bir silisyum karbür tabakası için kimyasal buhar biriktirme, oksidasyonu ve plazma direncini arttırır.
Temiz Oda Temizliği ve Paketleme:Ultrasonik temizlemenin ardından kirlenmeden-serbest geçiş için çift-vakumlu anti-statik sızdırmazlık.
Temel Yarı İletken Uygulamaları
CZ Silikon Tek Kristal Büyümesi:Yüksek-saflıkta potalar, ısıtıcılar ve koruyucu bileşenler, yoğun termal alanlara dayanacak ve yabancı maddelerin monokristalin silikon küreciklere yayılmasını önleyecek şekilde tasarlanmıştır.
MOCVD ve Epitaksi:Büyük çaplı levhalar boyunca eşit sıcaklık dağılımını sağlamak ve epitaksiyel katman tekdüzeliğini optimize etmek için olağanüstü termal iletkenlik ile tasarlanmış şüpheciler.
İyon İmplantasyonu ve Dağlama:Agresif plazma erozyonuna karşı üstün direnç sunan{0}yüksek yoğunluklu bileşenler, çalışma döngülerinin uzamasına ve parçacık oluşumunun azalmasına neden olur.
Kalite Kontrol
İşlenmemiş içerikler:Birinci sınıf öncüler, istikrarlı bir karbon temeli açısından denetlendi.
Saflık:Kül içeriğinin kesinlikle 5 PPM'nin altında kalmasını sağlayan yüksek sıcaklıkta-saflaştırma.
Fiziksel Özellikler:Aşırı termal güvenilirlik için yoğunluk, gözeneklilik ve dayanıklılık test edilmiştir.
Boyutsal Doğruluk:Sıkı toleranslar (±0,005 mm ila ±0,01 mm) sağlayan hassas CMM denetimi.
Yüzey Durumu:Kusurları ve partikül oluşumunu ortadan kaldırmak için titiz son işlem ve temizlik.
Çevresel ve Mevzuata Uygunluk:RoHS ve REACH standartlarıyla tamamen uyumlu olup, güvenli ve çevre{0}dostu yarı iletken tedarik zinciri entegrasyonu sağlar.
Tam İzlenebilirlik:ISO 9001 uyumluluğunu sağlamak amacıyla her gönderi için üçüncü-taraf ICP-MS verilerini içeren eksiksiz Malzeme Testi Raporları (MTR).
SSS
Popüler Etiketler: yarı iletken dereceli grafit, Çin yarı iletken dereceli grafit üreticileri, tedarikçiler, fabrika, Yarı İletken Sınıfı Grafit, gofret grafit taşıyıcı, Yonga Levha Üretimi Grafit
Bir çift
ÜcretsizSonraki
Gofret Üretim GrafitiSoruşturma göndermek
Bunları da sevebilirsiniz

